質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過(guò)毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量， 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準確度高

3. 無(wú)直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類(lèi)

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另質(zhì)量流量計一類(lèi)為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。

質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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